北京航空航天大學(xué)で24日、厚さ原子5個分のナノ磁性薄膜に「100年」と記す集積回路學(xué)院の科學(xué)研究者。撮影?鞠煥宗

「100年、中國『芯』」。中國共産黨創(chuàng)立100周年を祝賀し、北京航空航天大學(xué)の科學(xué)研究者は原子5個分の厚さのナノ磁性薄膜に上述の文字を記した。この厚さは一般的なプリント用紙の10萬分の1に相當(dāng)する。新華社が伝えた。

磁気チップを生産する過程で、ナノ磁性薄膜を均等にウェハー（シリコン半導(dǎo)體集積回路を作るための基板）に敷く必要がある。すべてのウェハーを完全に平らにするのはどれほど難しいのだろうか。北京航空航天大學(xué)集積回路學(xué)院工法?裝備學(xué)部の教員である張學(xué)瑩氏は、「北京市海淀區(qū)（面積は431平方キロメートル）の地上に均等に米粒を5層敷き、そして完全に平らにしなければならないようなものだ。そのため薄膜の平坦性の検査が極めて重要だ」と述べた。

張氏によると、科學(xué)研究者は検査裝置を使い、微小の磁性針を使い薄膜に文字を記す。文字の色のコントラスト比が一致し、筆跡がはっきりしていれば、薄膜の均等性が高いことが分かる。平坦性の検査完了後、ナノ薄膜を部品にし、パッケージングしチップにする。

北京航空航天大學(xué)で24日、厚さ原子5個分のナノ磁性薄膜に「中國芯」と記す集積回路學(xué)院の科學(xué)研究者（前）。撮影?鞠煥宗

同検査裝置は、北京航空航天大學(xué)集積回路學(xué)院の科學(xué)研究チームが開発した、ウェハー級磁気光學(xué)カー効果検査裝置だ。

同學(xué)院工法?裝備學(xué)部の王新河學(xué)部長は、「磁気チップは信頼性の高い情報保存モジュール、高感度の磁気信號センサーモジュールとして、航空機(jī)や衛(wèi)星の制御システム、及び攜帯電話の電子コンパス、自動車の自動運(yùn)転などの分野に応用できる。その一方で、磁気チップの生産プロセスにおける磁性薄膜検査というキーテクノロジーは、中國の長期間にわたりネックとなる技術(shù)だった」と述べた。

「海外の同類裝置と比べると、この裝置は検査の精度と速度の面で技術(shù)革新を行っており、獨自の革新とブレイクスルーを?qū)g現(xiàn)している」と王氏。

同裝置は現(xiàn)在すでに科學(xué)研究分野で応用されており、そして今年10月に実用化される見通しだ。

北京航空航天大學(xué)で24日、磁性ペンを使い、ナノ薄膜の磁性を検査する集積回路學(xué)院の科學(xué)研究者。撮影?鞠煥宗

中國科學(xué)院の科學(xué)研究チームは1993年に10個の原子を使い「中國」の形にしていた。これは中國が獨自に原子を操作できるようになったことを示している。今や「100年、中國『芯』」と記すために用いられたウェハー級磁気光學(xué)カー効果検査裝置は、100億元（1元は約17.2円）の市場規(guī)模を持つ磁気チップ産業(yè)に設(shè)備のサポートを提供している。

「中國」から「100年、中國『芯』」への移り変わりを支える科學(xué)研究のブレイクスルーは、中國のハイテクにおける獨自革新能力の持続的な向上、國の科學(xué)技術(shù)力の持続的な強(qiáng)化の縮図となった。（編集YF）

「人民網(wǎng)日本語版」2021年7月2日